Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes

Characterization of Plasma-Enhanced CVD Processes

等离子体增强化学气相沉积过程的表征
材料表面与界面

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作者

Gerald Lucovsky;Lucovsky, Gerald;Ibbotson, Dale E.; Jensen, Klaus F.

出版社

Cambridge University Press

出版时间

2014年06月15日

装帧

平装

ＩＳＢＮ

9781107410282

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页码

270

语种

英语

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