Chemical-mechanical planarization (CMP) has emerged as a critical fabrication technology for advanced integrated circuits. Even as the applications of CMP have diversified and we have begun to understand aspects of the physics and chemistry of the process, a new generation of CMP innovations is unfolding. New slurries and consumables are under development. New applications to novel devices continue to appear. This book, the most recent in a successful series on CMP, offers a review of the advances to date and provides a comprehensive discussion of the future challenges that must be overcome. Presentations from academia, government labs and industry are featured. Topics include; CMP modeling; CMP science; CMP slurries and particles for planarization of copper, oxide, and other materials; planarization applications including shallow trench isolation (STI), copper damascene, and novel devices and CMP integration.

• 关于产品：
• ● 正版保障：本网站隶属于中国国际图书贸易集团公司，确保所有图书都是100%正版。
• ● 环保纸张：进口图书大多使用的都是环保轻型张，颜色偏黄，重量比较轻。
• ● 毛边版：即书翻页的地方，故意做成了参差不齐的样子，一般为精装版，更具收藏价值。
• 
  关于退换货：
• 由于预订产品的特殊性，采购订单正式发订后，买方不得无故取消全部或部分产品的订购。
• 由于进口图书的特殊性，发生以下情况的，请直接拒收货物，由快递返回：
• ● 外包装破损/发错货/少发货/图书外观破损/图书配件不全（例如：光盘等）
  并请在工作日通过电话400-008-1110联系我们。
• 签收后，如发生以下情况，请在签收后的5个工作日内联系客服办理退换货：
• ● 缺页/错页/错印/脱线
• 
  关于发货时间：
• 一般情况下：
• ●【现货】 下单后48小时内由北京（库房）发出快递。
• ●【预订】【预售】下单后国外发货，到货时间预计5-8周左右，店铺默认中通快递，如需顺丰快递邮费到付。
• ● 需要开具发票的客户，发货时间可能在上述基础上再延后1-2个工作日（紧急发票需求，请联系010-68433105/3213）；
• ● 如遇其他特殊原因，对发货时间有影响的，我们会第一时间在网站公告，敬请留意。
• 
  关于到货时间：
• 由于进口图书入境入库后，都是委托第三方快递发货，所以我们只能保证在规定时间内发出，但无法为您保证确切的到货时间。
• ● 主要城市一般2-4天
• ● 偏远地区一般4-7天
• 
  关于接听咨询电话的时间：
• 010-68433105/3213正常接听咨询电话的时间为：周一至周五上午8：30～下午5：00，周六、日及法定节假日休息，将无法接听来电，敬请谅解。
• 其它时间您也可以通过邮件联系我们：customer@readgo.cn,工作日会优先处理。
• 
  关于快递：
• ● 已付款订单：主要由中通、宅急送负责派送，订单进度查询请拨打010-68433105/3213。