There are many different vapor phase surface treatments of materials that can be used to produce a wide variety of end results, but each of them are of increasing importance in the pursuit of high performance advanced materials. These techniques differ significantly in the physical or chemical nature of the gas-surface interactions involved, and also in the thickness and morphology of the coatings produced. Applications include advanced semiconductors, optics, and nanotechnology, as well as many more. This book details the most

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