Handbook of Vlsi Microlithography

材料科学基础学科

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作      者
出  版 社
出版时间
1991年01月01日
装      帧
精装
ISBN
9780815512813
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671
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图书简介
Offers a look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings - including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography.
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